密封環端面流體動壓槽的加工方法

密封環動壓槽在非接觸機械密封中得到越來越多的應用，但是動壓槽的形狀復雜，結構精細而精度高，粗糙度要求也嚴格，尤其是加工動壓槽的密封環多是硬質材料的，所以動壓槽的加工困難很大，常規的機械加工法幾乎無能為力，因而，人們探索了多種方法，主要有以下幾種：

光刻法(化學腐蝕)

先在被刻槽的工件上涂以感光膠膜，然后將事先準備好的底片放于其上，經曝光，顯影，涂保護層，再在蝕刻液中浸蝕，便可得到所需的動壓槽。這一方法在青銅上刻槽尚可，在硬質合金上刻槽時，由于膠膜在較高溫度下耐不住浸蝕液的的長時間腐蝕，所以刻出的槽形質量不高。

電火花加工(電蝕刻)

該方法是利用兩個電極放電的方法，將動壓槽內待去除的材料蝕刻掉。該方法的關鍵是制作放電頭，放電頭端面結構和密封環端面動壓槽結構相同，但圖案是突出的。密封環和放電頭分別作兩個電極通電，當兩個端面接觸時，產生放電，密封環端面動壓槽部位的材料即被蝕刻掉。不過這一方法要求電介質性能要好，放電頭端面與密封環端面要平行等，以取得均勻放電的效果，否則各槽的槽深將難以保證。這一方法的缺點是加工放電頭困難;電蝕刻的效率太低，否則放電頭損耗又較大;加工成本高;效果也欠佳;同時電加工產生的表面應力造成的微裂紋會使材料的強度降低。